市面上常見(jiàn)的去膠機按照頻率可分為微波等離子去膠機和射頻等離子去膠機兩種，微波等離子去膠機的工作頻率為2.45GHz，射頻等離子去膠機的工作頻率為13.5MHz，更高的頻率決定了等離子體擁有更高的離子濃度、更小的自偏壓，更高的離子濃度決定了去膠速度更快，效率更高；更低的自偏壓決定了其對襯底的刻蝕效應更小，也意味著(zhù)去膠過(guò)程中對襯底無(wú)損傷，而射頻等離子去膠機其工作原理與刻蝕機相似，結構上更加簡(jiǎn)單。因此，在光電器件的加工中，去膠機的選擇更推薦使用損傷更小的微波等離子去膠機。
影響微波等離子去膠機使用的四大要素：
1、調整適合的真空度：恰當的真空度，可使電子運動(dòng)的平均自由程變大，因而從電場(chǎng)取得的能量就大，有利電離。別的當氧氣流量必守時(shí)，真空度越高，則氧的相對份額就大，發(fā)生的活性粒子濃度也就大。但若真空度過(guò)高，活性粒子濃度反而會(huì )減小。
2、調整合適的頻率：頻率越高，氧越易電離構成等離子體。頻率太高，以致電子振幅比其平均自由程還短，則電子與氣體分子磕碰概率反而減少，使電離率降低。通常常用頻率為 13.56MHz及2.45GHZ 。
3、調整合適功率：關(guān)于必定量的氣體，功率大，等離子體中的的活性粒子密度也大，去膠速度也快；但當功率增大到必定值，反響所能耗費的活性離子到達飽滿(mǎn)，功率再大，去膠速度則無(wú)顯著(zhù)添加。由于功率大，基片溫度高，所以應根據技術(shù)需求調理功率。
4、氧氣流量的調整：氧氣流量大，活性粒子密度大，去膠速率加速；但流量太大，則離子的復合概率增大，電子運動(dòng)的平均自由程縮短，電離強度反而降低。若反響室壓力不變，流量增大，則被抽出的氣體量也添加，其間尚沒(méi)參與反響的活性粒子抽出量也隨之添加， 因而流量添加對去膠速率的影響也就不甚顯著(zhù)。
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