微波等離子清洗機作為一款綠色無(wú)污染的高精密干法清洗設備,它可以有效去除表面污染物,避免靜電損傷。
微波等離子清洗機是用等離子體通過(guò)化學(xué)或物理作用對工件表面進(jìn)行分子水平處理,去除沾污,改善表面性能的工藝過(guò)程。對應不同的污染物,應采用不同的清洗工藝。當腔內壓力為動(dòng)態(tài)平衡時(shí),利用微波源振蕩產(chǎn)生的高頻交變電磁場(chǎng)將氬氣、氧氣、 氮氣、氫氣等工藝氣體電離,生成等離子體,活性等離子體對被清洗物進(jìn)行物理轟擊與化學(xué)氧化還原反應。
設備結構:
微波等離子清洗機主要是由五部分組成:分別為外殼框架系統、微波放電系統、真空系統、供氣系統和控制系統。該設備控制方式為工控機PLC,操作方式包括自動(dòng)模式和手動(dòng)模式,在自動(dòng)模式下將不同工藝參數按照配方方式管理,可同時(shí)存儲50組不同的配方。設備設計有工作氣體耗盡報警、壓縮空氣壓力低于設定值報警、泵熱過(guò)載報警、反應倉泄露率過(guò)大報警等安全功能。
與濕法清洗相比,微波等離子清洗機的優(yōu)勢主要體現在以下幾個(gè)方面:
1、清洗過(guò)程只需幾分鐘即可完成,清洗時(shí)等離子可滲透到物體細小的角落并完成清洗任務(wù),因此清洗效率高;
2、經(jīng)過(guò)等離子清洗后被清洗器件己經(jīng)很干燥,無(wú)需再進(jìn)行干燥處理。
3、清洗時(shí)產(chǎn)生的氣體及汽化的污垢被排出,在器件上無(wú)殘留物;
4、可清洗不同的基材,使用材料范圍廣;
5、節省廢物處理費用。